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      環控產品

      專注于環境監測服務,致力于環保事業發展

      APK6100E半導體行業超高純(特種)氣體稀釋系統

      產品優勢

      ■可配置液體或氣體樣品;

      ■可實現標樣加濕功能;

      ■兩級高精度MFC控制;

      ■稀釋比高;

      ■全自動運行,直接讀取濃度,ppm,ppb或ppt;

      ■可針對不同用戶的稀釋要求定制產品。

      在線聯系我們24小時服務電話18653298685
      原理概述

          APK6100E半導體行業超高純(特種)氣體稀釋系統,是一款具有高精度高稀釋比的升級產品,可配制五種標氣的混合氣(可定制),稀釋比可達到1:10000,二級稀釋,高精度,帶有加濕功能,可用于傳感器生產商,半導體生產商的產品測試及科研院所的科學研究??筛鶕脩粢蠖ㄖ?。

          特點:

          苯系物BTEX,PAMS,硫化物,TO-15,HCHO,SO2,N2O,NO2以及其他;

          帶有加濕功能,可控制稀釋后氣體濕度

          高精度質量流量計(MFC),配制氣體濃度精準

          可選配液體標樣稀釋模塊

          應用:

          傳感器生產商

          半導體生產商

          科研院所

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